ABSTRAK Pada proses perangkat pembelajaran di sekolah dinilai masih kurang layak. Hal ini berimplikasi pada keterampilan proses sains dan hasil belajar kognitif siswa yang rendah. Untuk itu dilakukan pengembangan perangkat pembelajaran menggunakan model inkuiri terbimbing yang memiliki tujuan khusus: (1) mendeskripsikan validitas perangkat pembelajaran, (2) mendeskripsikan kepraktisan perangkat pembelajaran yang ditinjau dari keterlaksanaan RPP, (3) Mendeskripsikan efektivitas perangkat pembelajaran yang ditinjau dari hasil belajar kognitif siswa, dan (4) mendeskripsikan pencapaian keterampilan proses sains siswa. Pada penelitian ini model yang digunakan model Dick and Carey. Instrumen yang dikembangkan berupa RPP, LKS, THB dan Materi ajar. Teknik pengumpulan data berupa validasi perangkat pembelajaran, pengamatan keterlaksanaan RPP, pengamatan KPS siswa, dan tes hasil belajar. Teknik analisis data berupa deskriptif kualitatif dan kuantitatif. Hasil penelitian menunjukkan: (1) validitas perangkat pembelajaran berkategori valid, (2) kepraktisan perangkat pembelajaran dinilai terlaksana sangat baik, (3) efektifitas perangkat pembelajaran dinilai efektif, dan (4) pencapaian keterampilan proses sains siswa dinilai sangat baik. Diperoleh simpulan bahwa perangkat pembelajaran menggunakan model inkuiri terbimbing yang dikembangkan layak digunakan dalam pembelajaran. Kata kunci: Perangkat pembelajaran, keterampilan proses sains, model inkuiri terbimbing